机领域,尼康和佳能还是业界翘楚。
“不是。”秦蓁笑着回答,“中国人。”
这个回答引起了现场的议论。
中国人研究光刻机工件台?
他们连光刻机都弄不出来,哪来的底气搞光刻机工件台?
这像是一个笑话。
惹得会议现场讥笑声不断的笑话。
秦蓁泰然自若,“现有的光刻机都是依照既定顺序进行工作,上下片、测量、对准、曝光,这些环节缺一不可。一个环节的错误就意味着这片晶圆浪费了。去年的全球半导体产业报告还没有出来,我暂时不清楚去年的芯片数据是多少,不过依照阿斯麦尔光学部门那位范希克博士的演讲,我想市场需求量是大幅度提升了的,毕竟他们的PAS5500出货量很大。据我所知现在的光刻机都是24小时工作制,但在这个工作制下依旧有巨大的缺口没有被弥补,那么我想提升光刻机的效率是一个十分重要的议题,而研究工件台,能有效提升光刻机产能。”①
秦蓁的理论阐述让主席台上的专家皱起眉头,这话倒是不错,但略有些空泛。
“这话谁都会说,但怎么才能提升产能?你倒是说说,你研究出了什么东西?”
吴迪连忙站起来,“不能说。”
秦蓁现在没做出成品来,说了只会被这些人抢走。
学术界可从来不是一群光风霁月的君子,小人更多。
秦蓁笑了起来,“没事,说了他们也做不出来。”
但说了,能让她拿到自己想要的东西。
“一个工件台无法满足产能需求,如果是两个呢?”
秦蓁看着哑然失声的会议现场,“双工件台是我正在研究的内容。”
“不可能!”
不远处有人站了起来,一口糟糕的英语不用想就知道是日本人。
尼康这位光学工程师并不认识秦蓁,“就算是给你们光刻机的全部图纸,你都做不出来光刻机,你怎么可能研究出来双工件台?”
“你怎么知道我做不出来?”秦蓁看着对方,“你倒是把图纸给我呀,看我做不做的出来。”
一旁吴迪等人:“……”
这也行?
作者有话要说: 工作总是累的,嘤,想要假期!我中午没更新,下午多写了点。
①双工件台的百度百科
双工件台技术是AS`ML2001年才做出来的,国内前几年突破了这一技术打破垄断
查资料的时候看到外国专家说就是给你们光刻机图纸你们也做不出来,主要是因为光刻机涉及到全球供应链,现在的EUV光刻机光有图纸还真不行。
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第198章 从芯开始38
众人一时间鸦雀无声。
一同与会的日本人连忙拽了下同事的胳膊, 建议不要冲动。
这就是话赶话,哪能真的给图纸,这是机密中的机密好吗?
可这话已经说出去了……
秦蓁在那里装无辜, “哎呀,你这么紧张做什么,我也就是随口一说罢了。”
咄咄逼人没什么用处,反倒是会给大家一个气势凌人的印象, 这并不太好。
何况,嘴上说一句而已,那日本人又不会把图纸拿给她。
适当给个台阶, 大家都好做人。
那位日本的工程师听到这话用袖子擦了下额头上密密麻麻的汗珠, “我只是, 只是不敢相信而已。”
这有什么不相信的呢?
其实光刻机的设计遥遥领先于成品的出现,就像是日后让阿斯麦尔一统光刻机江湖的EUV光刻机,现在已经有了其设计理念。
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