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兔国的线路图设计水平位于世界前列,但一直无法制造高端光刻机,基本依赖进口。

这其中,原因有很多,也包括光刻机的物镜系统不能自主生产。

姜昭节拧起眉头,神色有些凝重,刘佳宁愣了一下,误会他没明白自己的意思,于是进一步解释。

“物镜系统的作用,姜总你知道的吧?补偿光学误差,并等比例缩小线路图。这个需要非常高的精度来避免图像变形,所以和平时见到的什么显微镜、望远镜的镜片是有区别的。”

包括材质、镀层什么的,要求都更加严苛。

姜昭节点点头,也压低了声音:“但星维现在使用的物镜,已经是国内能买到的最好的了。是直接从实验室出来的。”

刘佳宁一惊,再次对姜昭节广阔的人脉叹为观止,边上那位大牛听到,也惊奇侧目。

“小友辛苦了。”大佬和蔼地道,“你有这个心,还尽了这个力,实在是难得。”

姜昭节忙谦虚了几句。

大佬摇摇头,很是真心地夸赞了姜昭节一会,转头看向刘佳宁:“小刘啊,你过来看。看出来什么了吗?”

刘佳宁走上前去,看着大佬指出的几处数据,疑惑道:“这几组数据……好像都有点偏高了。”

大佬赞许道:“你们这个研究成果,可了不得,最终能源转换效率提升了不少。”

光刻机能耗非常恐怖,因为经过多次反射,能源转换效率不足0.02%,为了完成最后的工序,自然要加大能量提供。

刘佳宁他们研发的新技术,能够有效缩短光的反射路程,减少过程中的能量损耗,折合过去,就是每天大量减少电力消耗,同时还降低了光刻机本身的制造难度,理所当然得到大佬的高度赞扬。

大佬笑道:“毕竟是个新技术,目前不够稳定,对物镜系统要求也比较高,确实有些隐患。”

他又翻出几个数据,招呼刘佳宁和曲旭清看。

两人把着重提出来的数据汇总分析,很快意识到,由于对物镜系统要求过高,这项技术很可能会影响整个光刻机的温控设备。

刘佳宁恍然大悟,还对姜昭节解释道:“这应该就是我本能觉得不对的地方了。咱们公司的实验室,没有单独测量物镜温度的设备,我倒是疏忽了这一块的问题。”

目前对于调控缩放线路图的光路,比较先进的方法是控制透镜和反射镜的温度。

新技术可以缩短芯片制程,虽然减少一定能耗,但每单位路程上,光束更加集中,导致单位体积内热量增高,必然影响温控设备的使用和调节。

曲旭清琢磨着道:“看来得增加一个补偿校正温度的设备。”

刘佳宁:“温度控制器?以目前国内的物镜生产水平,恐怕得加大功率的才有效。”

姜昭节随口道:“什么样算大功率?如果功率过大,会不会这项技术能够减少的能耗?”

刘佳宁和曲旭清同时皱起眉头:“这个要测定一下,还不好说。”

但如果温控设备的消耗超过了新技术节约的能耗,那这项技术……

有不如没有。

两人忍不住发愁,辛

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