“大家都是我们国家的栋梁之材,不必如此客气,都坐下,都坐下。我也是今天正好遇到了安教授,听说姜教授今天邀请不少人来参加研讨会,想着来凑个热闹,大家就当我是个旁听的,不必在意。”
别说其他人了,姜文泽自己都很惊讶,听到岑部长的话,眼神下意识地往安琴看去。
安琴自己也是很无奈,但是领导说要来看看,她怎么可能说不同意呢。
于是,这场研讨会变成讲解之后又更换了一种性质,隐隐约约有点向领导展示现有成果的架势。
姜文泽现在的资金还在对方手里攥着,更是不可能说什么丑话,赶紧打圆场道:
“岑部长愿意来,那是我们的荣幸,只不过由于特殊原因,我们这个会议只能在这个狭小的办公室开展,您见谅。”
“这有什么枪林弹雨都经历过了,这么大的地方根本不在话下。”
岑部长也不是什么讲究的人,随意在姜文泽刚刚的座位旁边落座,切切实实地做好自己旁听的身份。
见状,其他人也随意挑选了一个座位坐下。
最后呈现在众人面前的就是如此诡异的画面,所有能够拥有座位的都是教授级别青老年,除了李筠三人,因此在整间办公室里面,三个人所在的区域格外惹人注目。
姜文泽看着时间差不多,对着李筠三人的方向点点头,说出开场白。
“今天特意邀请大家来这里相聚,是想要和大家分享一下我们团队,近期发现的一项重大成果,具体内容将由我团队里的李筠、秦浩、黎绵三人介绍。”
话音刚落,原本就锁定在三人身上的视线更加炙热。
秦浩和黎绵两人也忍不住将自己的目光转移到李筠身上。
这下子李筠还有什么不明白的,看来她自己就是那个做讲解的人。
对于这样的场面她熟视无睹,既然同伴将“麦克风”交到她手里,她也不会推辞。
于是,在大家的注视下,李筠站起身,一边将自己和秦浩、黎绵身前的资料和数据往桌上的人手里发,一边开口介绍道:
“这里面是我们三人在探索深紫外光源的过程中,所产生的一系列相关数据,以及我们探索路径的选择缘由。
自从人们发现汞灯可以产生稳定可持续的g-line和i-line紫外光源之后,这两种光源就一直作为光刻机所采用的光源。但是随着时代的变化,我们逐渐发现这两种光源所制作的晶圆,远远不能达到现在的需求。
为此,我们姜教授团队开始了寻找深紫外光源的探索。前期,因为汞灯能够产生更短的i-line,我们也是继续在这方面深入研究,但很快我们就发现,这几乎已经达到了它的极限。
之后,我们联想到激发态的分子在向基态跃迁时,会产生……”
李筠用着不紧不慢地语气,将他们这半年来的研究过程娓娓道来。
虽然大家都没从语句中听到惊险、无奈的词句,可是在场的每一个人都很清楚,没什么研究会是如此简单的,其中的困难三言两语更是说不清楚。
但就是这样的话语,听着更让人舒服,也更让人心疼。
而大家也逐渐明白这次会议的主题,那就是他们终于发现了比365nm i-line波长更短的193nm的ArF准分子激光。
这对于众人而言,简直就是难以置信的重大发现。
因为光源的波长越短,光刻机的分辨率就越小,分辨率越小,代表着清晰投影出来的图像越小。
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