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把图纸交上来之后,这边你们暂时就没有什么事情需要忙了,老师会尽快给你们安排新的任务,这台激光器也会尽快制作出来。”

“这样我们就放心了,那我就先离开了。”

“你先去吃饭,顺便休息一下。”

秦浩点点头,转身离开。

依旧端坐在椅子上的闫旭东,还在震惊地看着眼前的图纸。

虽然秦浩没有说明,但他很明显能够看出来,虽然这台激光器经过了大改造,但是它与其他部分连接的尺寸是不变的。

也就意味着当它制作出来之后,能够完美地与其他光刻机设备融为一体,届时操作将会更加简便和稳定。

能够在完成大改造的同时,也注意到这些细枝末节,很不简单。

这个小项目的顺利完成,也算是他们与计算科技研究所合作的一个进步,对方现在可是再不停地催促。

他感觉最近老师的白头发都多了不少,估计是烦的。

因为合作的原因,闫旭东嘴里的休息也不过是一个下午,第二天三人就被分配了新的任务。

李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授,因为姜文泽教授接触式这里人手充足,而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段,需要的人手不少,像是其他两人就被分到了投影式实验室。

说来,她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场,就是不知道后面结果如何。

人手是真的缺,她刚到实验室,就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。

可以说,除了光源之外,光刻机的研究当中,镜头就是其最核心的部分,包括物镜和曝光台。

李筠被分到的是物镜观察,她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光,通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后,透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。

物镜可以调整光束的形状,入瞳、透过平面、出瞳,将掩膜上的电路图案调整缩小,聚焦成像在晶圆上。

对于像差调节的要求特别高,不确定性很大,她自己都不敢说,什么时候才能调整出最合适的比例。

唯一值得庆幸的一点就是,接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙,不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染,只得关闭设备重新再来一次。

负责带着李筠学习的赵蔓,看着她那熟练的动作,满意地点点头。

终于送来的不是一个愣头青,什么都不懂的人,要知道他们团队现在的任务非常重,时间紧迫,根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。

她看着李筠有模有样的动作说:“看你的样子也不是什么完全新手,你和于亮一起负责物镜的调试,不断找出最小比例的组合模式,有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙,你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”

说完,她也不等两人回答,转身离开。

于亮也是个只想要做事的性子,直接站到观察位,冷冷地出声道:

“那么我先来,李筠你负责记录现在的物镜调配情况,以及晶圆显影比例。”

“没问题。”

李筠让开自己的位置

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